รายได้ ASML สำหรับปีที่แล้วมีจำนวน 121.07 B PLN ซึ่งส่วนใหญ่ 39.71 B PLN มาจากแหล่งที่มาที่มีประสิทธิภาพสูงสุดในขณะนี้ Extreme Ultraviolet, ปีก่อนนำ 33.04 B PLN. ไต้หวัน มีส่วนร่วมมากที่สุดในตัวเลขรายได้ โดยปีที่แล้วมี ASML 35.14 B PLN, และปีก่อนนั้น 37.96 B PLN.