รายได้ AXCELIS TECHS DL-,001 สำหรับปีที่แล้วมีจำนวน 983.24 M EUR ซึ่งส่วนใหญ่ 1.01 B EUR มาจากแหล่งที่มาที่มีประสิทธิภาพสูงสุดในขณะนี้ Ion Implantation Systems and Services, ปีก่อนนำ 839.18 M EUR. สหรัฐอเมริกา มีส่วนร่วมมากที่สุดในตัวเลขรายได้ โดยปีที่แล้วมี AXCELIS TECHS DL-,001 678.86 M EUR, และปีก่อนนั้น 592.46 M EUR.