รายได้ ASML HOLDING NV สำหรับปีที่แล้วมีจำนวน 26.75 B CHF ซึ่งส่วนใหญ่ 9.50 B CHF มาจากแหล่งที่มาที่มีประสิทธิภาพสูงสุดในขณะนี้ Argon Fluoride Immersion, ปีก่อนนำ 8.21 B CHF. จีน มีส่วนร่วมมากที่สุดในตัวเลขรายได้ โดยปีที่แล้วมี ASML HOLDING NV 10.02 B CHF, และปีก่อนนั้น 6.60 B CHF.