รายได้ ASML สำหรับปีที่แล้วมีจำนวน 28.26 B EUR ซึ่งส่วนใหญ่ 9.67 B EUR มาจากแหล่งที่มาที่มีประสิทธิภาพสูงสุดในขณะนี้ Argon Fluoride Immersion, ปีก่อนนำ 9.02 B EUR. จีน มีส่วนร่วมมากที่สุดในตัวเลขรายได้ โดยปีที่แล้วมี ASML 10.20 B EUR, และปีก่อนนั้น 7.25 B EUR.